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智能手機普遍采用觸摸顯示屏作為用戶操作界面，典型的觸摸顯示屏使用四塊玻璃來分別實現(xiàn)容納薄膜晶體管和液晶材料，觸摸功能和鋼化玻璃蓋板的功能；同時無線充電和5G通訊技術(shù)的發(fā)展，促使智能手機背板也采用玻璃來改善信號傳輸質(zhì)量，直接拉動了顯示行業(yè)對新型玻璃的需求。

2018年智能手機的總出貨量預計15.5億部，玻璃蓋板的滲透率為25%，即有4億塊的需求量，觸摸顯示有16億塊的需求量；玻璃背板的滲透率為40%，即有6.2億塊的需求量。

傳統(tǒng)玻璃切割技術(shù)采用金剛石或合金在玻璃上劃出微槽，在微槽兩側(cè)施加外力使玻璃向厚度方向延展，形成縱向裂縫來實現(xiàn)切斷，能滿足傳統(tǒng)玻璃的加工要求。近十幾年來，信息顯示行業(yè)推動新型玻璃的進步，向輕薄化和優(yōu)秀抗損性能的方向發(fā)展。特別是硬化玻璃的廣泛應(yīng)用，傳統(tǒng)切割技術(shù)的優(yōu)化空間開始趨窄，為達到高精度切割，通常需增加研磨和拋光的額外工作量，降低了生產(chǎn)效率，因此顯示行業(yè)對玻璃切割精度、效率和內(nèi)損傷的綜合性能提出更高要求。

玻璃激光切割是一項易于控制的非接觸式的少污染技術(shù)，為客戶帶來極大便利；同時在高速切割下能保證邊緣整齊、垂直性佳和內(nèi)損傷低的優(yōu)勢，正成為玻璃切割行業(yè)的新型解決方案。尤其是高精度切割，皮秒級超快激光器因極窄的脈寬而展現(xiàn)出極大的優(yōu)勢，利用低熱能擴散的特點，在熱傳導到周邊材料前完成材料打斷，在脆性材料切割中表現(xiàn)出良好的效果。

基本加工原理

激光切割效果與材料對波長的吸收深度有關(guān)系，根據(jù)吸光深度分為表面吸收和體吸收。在圖1所示的第四代康寧大猩猩玻璃的吸收光譜中，對1064nm波長的光透過率>92.1%，因此皮秒級超快激光切割鋁硅酸鹽玻璃，必須利用材料的體吸收。

圖1 第四代康寧大猩猩玻璃的吸收光譜

同時玻璃屬于寬帶隙電介質(zhì)材料，超快激光具有誘導其自身進行多光子吸收的能力。如圖2所示傳統(tǒng)光吸收指單光子能量超過材料帶隙，材料吸收單光子，進而激發(fā)電子進行價帶-導帶躍遷。超快激光具有極高的峰值功率密度，即使單光子能量低于材料帶隙，利用多光子吸收也可實現(xiàn)電子價帶-導帶躍遷。皮秒級超快激光輻射光子，材料進行多光子吸收產(chǎn)生導帶電子，處在高能級的電子在材料運動中發(fā)射聲子，并把所吸收能量轉(zhuǎn)移至晶格，晶格經(jīng)歷能量沉積造成材料熔化或機械破壞，實現(xiàn)高質(zhì)量的微加工。

（a）單光子吸收          （b）多光子吸收

圖2 材料中的電子激發(fā)過程

超快激光通過透鏡聚焦獲得um級光束，具有高峰值功率密度。如圖3所示，光束作用在玻璃材料上時，光束中心光強比邊緣低，帶來材料中心折射率比邊緣變化大，光束中心傳播速度比邊緣慢，光束出現(xiàn)非線性光學克爾效應(yīng)來產(chǎn)生自聚焦，繼續(xù)提升功率密度。直到在某閾值材料產(chǎn)生低密度等離子體，降低材料中心折射率，實現(xiàn)光束散焦。在實際切割玻璃中，優(yōu)化聚焦系統(tǒng)及焦距，可實現(xiàn)重復性聚焦/散焦過程，形成穩(wěn)定穿孔。

圖3 光束克爾效應(yīng)引起的光束自聚焦示意圖

傳統(tǒng)超快激光切割是利用振鏡來控制激光束，熔化、汽化或產(chǎn)生熱應(yīng)力來切割材料，該方法切割厚玻璃增加Z軸升降實施分層切斷。

目前成絲切割是一種可行的工藝，激光行業(yè)均具有成熟解決方案，在顯示行業(yè)內(nèi)已進行廣泛的應(yīng)用。如圖4所示，當超快激光束通過玻璃材料傳播時，同時存在克爾自聚焦和等離子體散焦，光束在兩者動態(tài)平衡中能實現(xiàn)長距離傳播，在材料中形成微米級的絲孔，這種絲孔在玻璃中能延展幾毫米的深度。直線電機控制玻璃工件相對于激光束進行運動來生成等間距的眾多絲孔，通過優(yōu)化絲孔間距產(chǎn)生沿直徑方向的微裂紋。對存在微裂紋的玻璃施加外力，增加微裂紋處的應(yīng)力，使玻璃沿微裂紋斷裂，達到切斷的目的。

圖4 皮秒超快實現(xiàn)成絲切割原理

實驗材料和裝置

本實驗所采用的玻璃是第四代康寧大猩猩，鋁硅酸鹽玻璃，厚度為0.9mm，密度為2.42g/cm3，維氏硬度為596kgf/mm2，斷裂韌性達到0.67MPam0.5。如圖,5所示，本實驗所采用的30w紅外皮秒激光器，整個系統(tǒng)基于主振蕩功率放大結(jié)構(gòu)，能提供高能量激光脈沖且激光脈沖寬度小于10皮秒，優(yōu)化的Burst Mode功能，可實現(xiàn)脈沖串編輯功能，以實現(xiàn)更多工藝選擇。

圖5 30w紅外皮秒激光器

如圖6所示，本實驗系統(tǒng)主要包括1064nm光纖-固體混合型皮秒激光器、光束變換系統(tǒng)、光束聚焦系統(tǒng)和真空吸附直線電機運動平臺，激光器的最高功率為32W。實驗檢測設(shè)備為歐米特金相顯微鏡（SEM）和光學顯微鏡，評價切割邊緣崩邊量和邊緣視覺效果

圖6 皮秒激光加工光路系統(tǒng)

實驗結(jié)果

如圖7-9所示是實際玻璃切割樣品，完成了直線和圓弧段的連續(xù)切割，崩邊區(qū)控制在10um以內(nèi)，截面為均勻磨砂面，6英寸玻璃屏幕生產(chǎn)時間控制在10s以內(nèi)。

圖7 玻璃切割樣品

圖8 玻璃切割直線和圓弧內(nèi)緣的微觀圖

圖9 玻璃切割截面微觀圖

激光切割玻璃是一項創(chuàng)新技術(shù)，目前已在切割觸摸顯示類玻璃、手機背板玻璃的應(yīng)用中進入實用階段。實現(xiàn)了新型玻璃的高效和低成本切割。從長遠來看，采用激光切割玻璃具有明顯優(yōu)勢，使得激光成為一種替代傳統(tǒng)機械切割，用于信息顯示領(lǐng)域制造的可行手段。